Çin Xüsusi Ucuz OEM Kalsium Flüorid Super Aşağı İtkili Sferik Güzgü İstehsalçıları, Təchizatçı, Zavod

Kalsium Flüorid Super Aşağı İtkili Sferik Güzgü: Növbəti Nəsil Tətbiqlər üçün Dəqiq Optika

Hər foton sayıldıqda, Kalsium Flüorid Super Aşağı İtkili Sferik Güzgümüz, həddindən artıq ultrabənövşəyi (EUV) litoqrafiya, ultrasürətli lazerlər və dəqiq optik sistemlərdə misilsiz performans təmin edir. 99.99% təmizliyə malik sintetik CaF₂ ilə hazırlanmış bu güzgülər, yüksək güclü şüalanma altında struktur bütövlüyünü qoruyarkən işıq itkisini <10 ppm-ə qədər minimuma endirir. Çip istehsalını optimallaşdırmağınızdan və ya lazer fizikasının hədlərini aşmağınızdan asılı olmayaraq, güzgülərimiz vacib tətbiqlər üçün subnanometr səth dəqiqliyi və istilik stabilliyi (±5 ppb/K) təklif edir.

Güzgülərimiz niyə fərqlənir

Ultra Aşağı Absorbsiya: 99.999 nm dalğa uzunluqlarında 13.5% əks etdirmə qabiliyyətinə nail olun, enerji itkisini və istilik təhrifini azaldın, EUV yarımkeçirici istehsalı üçün kritik əhəmiyyətə malikdir, burada hətta kiçik udma vaflis naxışını pozar, yüksək dəqiqlikli proseslərdə fotonların səmərəli istifadəsini təmin edir.
İstilik Sabitliyi: Hətta 0.01°C-də ±100% ölçü dəqiqliyini qoruyun, yüksək güclü EUV litoqrafiya alətləri üçün idealdır, temperatur sıçrayışlarının nanoölçülü dövrə çapını poza biləcəyi yarımkeçirici istehsal xətlərində yanlış hizalanmanın qarşısını alır, istilik intensivliyi olan əməliyyatlarda ardıcıl performansı təmin edir.
Nanoölçülü Dəqiqlik: Səthin pürüzlülüyü <0.12 nm Ra (Zygo profilometr vasitəsilə sınaqdan keçirilmişdir) səpələnmiş fotonların qabaqcıl optik tətbiqlər üçün tələb olunan dəqiqliyə uyğun olaraq siqnal bütövlüyünü pisləşdirdiyi EUV optikləri və kvant rabitə sistemləri üçün həyati əhəmiyyət kəsb edən minimal səpilmə itkilərini təmin edir.
Fərdiləşdirilə bilən dizaynlar: φ12.7 mm-dən φ100 mm-ə qədər diametrləri seçin, əyrilik radiusları (500–8000 mm) optik quruluşunuza uyğunlaşdırılaraq, həm kompakt laboratoriya alətlərinə, həm də iri miqyaslı yarımkeçirici istehsal avadanlığına tam uyğunlaşaraq müxtəlif texniki tələblərə dəqiqliklə uyğunlaşır.

Parameters

Parametr	spesifikasiya
Ölçülər	D=φ12.7-φ50.8mm（tolerance±0.1），H=4-8mm D:H＞4:1(tolerance±0.5） 2）D50.8-φ100mm（tolerance±0.1），H=10-25mm D:H＞4:1(tolerance±0.5）
Kaplama sahəsi	Fərdiləşdirilə bilən (standart: D12.7mm, 7.5mm sahə; D25mm, 10mm sahə)
Səth Dəqiqliyi	λ/10 @ 632.8nm
Paralel xəta	<10 "
əyrilik	SR=500-8000(fərdiləşdirin), əyrilik dəqiqliyi±0.05%
Kobudluq	Ra0.12nm (Zygo profilometer) test sahəsi 173*173um tam tezlik ölçmə
Yansıtıcılıq	≥99.999% (420nm-3000nm)
Zərər	2-6pm
Transmissiya	3-5pm
Materialları	Kalsium florid
istifadəçi ehtiyaclarına uyğun olaraq fərdiləşdirilə bilər.

Qeyd: Spesifikasiyalar sizin xüsusi ehtiyaclarınıza uyğunlaşdırıla bilər.

məhsul-1-1

Əsas tətbiqetmələr

EUV Litoqrafiya: İstilik və ya dağılmadan kiçik dövrələrin formalaşdırılması üçün vacib olan dəqiq foton yollarını saxlamaq üçün 7nm-də 99.999% əks etdirmə qabiliyyəti və 13.5°C-də ±0.01% ölçülü sabitlikdən istifadə edərək, termal sürüşməyə və çirklənməyə davamlı güzgülərlə 100nm-dən aşağı çip istehsalını təmin edin.
Femtosaniyə Lazerlər: Nanoölçülü dəqiqlik (səth pürüzlülüyü <0.12nm Ra) vasitəsilə ultrasürətli lazer boşluqlarında impulsların təhrifini minimuma endirin, impulsların öz forma və enerjisini saxlamasını təmin edin - bu, dispersiyanı azaldır, nəbz bütövlüyünün nəticələri diktə etdiyi mikroişləmə və spektroskopiya kimi tətbiqlər üçün çox vacibdir.
Metrologiya Sistemləri: Kalibrləmə qurğularına mükəmməl uyğunlaşan fərdiləşdirilə bilən dizaynlarla (φ12.7mm–φ100mm diametrlər) birləşdirilmiş sıfır yeraltı zədə ilə ölçmə dəqiqliyini artırın. Ultra hamar səthlər səpilməni aradan qaldırır, oxunuşların yüksək dəqiqlikli ölçülü analiz üçün vacib olan material qüsurları ilə əyilməməsini təmin edir.

Etibarlılıq üçün qurulmuşdur

Hər bir Kalsium Flüorid Super Aşağı İtkili Sferik Güzgü aşağıdakılara məruz qalır:

100% interferometriya və spektroskopiya sınağı: 99.999 nm və <13.5 nm Ra pürüzlülüyündə 0.12% əks etdirmə qabiliyyətini təmin edərək, hər bir komponentin səthinin düzlüyünü və spektral performansını yoxlayın.
Ekoloji stress simulyasiyaları (termal dövriyyə, rütubət): Komponentləri real dünya şərtlərini təqlid etmək üçün -50°C-dən 300°C-dək yelləncəklərə və 95% rütubətə məruz qoyaraq, performansın pisləşməsi olmadan müxtəlif sənaye və ya laboratoriya mühitlərində işləyən EUV alətlərində və metrologiya sistemlərində sabitliyi təmin edir.
SEMI və ISO 9001 uyğunluğu üçün üçüncü tərəf yoxlaması: Müstəqil auditlər yarımkeçirici sənaye standartlarına (SEMI) və keyfiyyət idarəetmə sistemlərinə (ISO 9001) uyğunluğu təsdiqləyir, avtomobil və aerokosmik müştərilər üçün komponentlərin yüksək riskli tətbiqlər üçün ciddi etibarlılıq və ardıcıllıq tələblərinə cavab verdiyinə əminlik verir.

Sənaye Liderləri Etibarlıdır

Biz ASML sertifikatlı OEM-lərə və ən yaxşı tədqiqat laboratoriyalarına güzgülər təqdim edirik:

Ölçələnə bilən istehsal: 10,000+ ədəd illik tutum.
24/7 Mühəndislik Dəstəyi: Birgə dizayn tətbiqi üçün xüsusi örtüklər və ya həndəsələr.
Ömürlük Zəmanət: Sıfır delaminasiya və ya iki qırılma ilə zəmanətli performans.

məhsul-1-1

Suallar var?

S: 13.5 nm-də hansı UV şəffaflığını gözləmək olar?

A: Güzgülərimiz Mo/Si çox qatlı örtüklərlə 99 nm-də >13.5% ötürmə əldə edir.

S: Səth pürüzlülüyünü <0.5 nm-dən necə təmin edirsiniz?

Cavab: Biz maqnitorheoloji bitirmə (MRF) və Zygo tərəfindən təsdiqlənmiş tam tezlik ölçmələrindən istifadə edirik.

S: Güzgüləriniz İTAR-a uyğundurmu?

Cavab: Bəli – biz qlobal göndərişlər üçün İTAR-sız və EAR ilə idarə olunan seçimləri təqdim edirik.

S: φ100 mm-dən yuxarı güzgülər hazırlaya bilərsinizmi?

A: φ500 mm-ə qədər olan xüsusi diametrlər ±0.05% əyrilik dəqiqliyi ilə mövcuddur.

Optik sisteminizi optimallaşdırmağa hazırsınız?

Kalsium Flüorid Super Aşağı İtkili Sferik Güzgü haqqında qiymət təklifi və ya texniki məsləhət üçün xachaona@163.com ünvanına e-poçt göndərin . Gəlin dəqiq həllinizi bu gün hazırlayaq.